[반도체 용어] EFEM 정의, 구성요소

※ EFEM

목차

1) 정의

2) 구성요소

 

1) 정의

EFEM : Equipment Front End Module

EFEM(Equipment Front End Module) 모듈이란 스마트팩토리의 공장 자동화 기능중 하나로 반도체 라인에서 카세트 내의 웨이퍼(Wafer)를 공정 모듈에 공급하는 공정장비의 표준 인터페이스 모듈로, 모든 공정 장비에 표준으로 적용되며 장비의 청정도 유지와 설비의 생산성에 큰 영향을 미친다.

 

2) 구성요소

• Load port: OUP(Front Opening Universal Pod) 300mm의 wafer cassette의 역할을 수행한다

• Carrier door opener: FOUP를 자동으로 open한다.

• Mini environment: HEPA filter module와 ionizer가 설치되어 있어 particle 오염 최소로 한다.

• door interlock: door가 open 됐을 때 설비가 멈추도록 하는 안전장치이다.

 

Ref)

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