『열심히 공부한 내용을 정리해서 올리는 공간입니다.』
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2022/03/10 2

EFEM / LPM

[반도체장비 사업부문] 주요 제품 현황 (1) Cluster Tool System Cluster Tool System은 반도체 공정장비(Process Module)와 연결되는 장치이며, EFEM(Equipment Front End Module)내 대기로봇이 진공챔버로 웨이퍼를 반송시키면 진공챔버 내 진공로봇이 공정장비로 웨이퍼를 반송시키는 Tool Automation System 입니다. 2007년에 6각 Vacuum Transfer Module(TM)을 시작으로 4각 Twin, In-Line 타입의 Cluster Tool, 8각 Vacuum Transfer Module(TM) 등 다양한 Model의 제품을 공급하고 있습니다. System은 EFEM, LPM, 대기로봇, Aligner, EFEM Soft..

분사의 의미상 주어

[분사의 의미상 주어] 지금까지 준동사를 공부하면서 항상 그 의미상 주어를 살폈다. 동사가 반드시 주어를 앞세우듯이, 준동사인 부정사, 동명사, 분사도 동사의 성격을 지녔기 때문에 그 주어가 무엇인지를 명확하게 알 수 있도록 문장을 써야 한다. 기본적으로 분사의 의미상 주어가 주절의 주어와 동일한가, 아니면 주절의 주어와 다르기 때문에 독립된 의미상 주어를 쓰느냐로 구분한다. 1) 분사의 형용사적 용법에서 의미상 주어 분사가 주격보어일 때는 주어가, 목적격보어 일 때는 목적어가 의미상 주어이다. 명사를 직접 수식할 때는 앞에서 수식하든, 뒤에서 수식하든 수식 받는 명사가 의미상 주어이다. She was shocked. (주격보어, She가 의미상 주어, 즉 주어와 동일하다.) 그녀가 충격받았다. We s..

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